⼿动上下料
优异的防氧化能⼒
搭载甲酸活化⽓氛辅助烧结功能
适⽤于铜/银烧结
最⾼烧结温度300℃
精确的控温控压能⼒
独⽴动态压头(QLSinter552搭载)
指标 | OLSinterA551 | OLSinterA552 | OLSinterA553 |
最大烧结压力 | 2000/3000/8000N可选 | 30MPa | 30MPa |
最高烧结温度 | 300℃ | 300℃ | 300℃ |
合模力 | / | 100t | 100t |
有效烧结面积 | 50mm*50mm | 350mm*270mm | 350mm*270mm |
芯片最小间隙 | 0.4mm | 0.4mm | 0.4mm |
氧含量 | 小于50ppm | 小于50ppm | 小于50ppm |
压力精度 | 土0.5N | 土0.5N | 土0.5N |
控温精度 | ±1℃ | ±1℃ | 土1℃ |
压头行程 | 90mm/120mm | 2mm | 2mm |
甲酸活化气氛 | 有 | 有 | 有 |
•在线式传输:通过在线式传输,实现了从预热到烧结、到冷却全⼯艺流程⽓体氛围可控的银/铜烧结⼯艺过程;
•优异的防氧化能⼒:全程真空腔体保护,满⾜真空、氮⽓、活化甲酸三种⽓体氛围的烧结 ⼯艺,兼容银、铜烧结;
•⽣产效率⾼:单组同时烧结16个模块,并可同时对多组⼯装上的模块分别进⾏上料、预热 烧结、冷却⼯艺过程,整机效率更⾼。
•独⽴动态压头:可实现⼀次多个芯⽚同时烧结,并保证其压⼒的⼀致性,最⼤烧结压⼒30MPa
•控压稳定,±0.5MPa。