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中试型QLSinter552

中试型QLSinter552

⼿动上下料
优异的防氧化能⼒
搭载甲酸活化⽓氛辅助烧结功能
适⽤于铜/银烧结
最⾼烧结温度300℃
精确的控温控压能⼒
独⽴动态压头(QLSinter552搭载)

技术参数

指标 OLSinterA551 OLSinterA552 OLSinterA553
最大烧结压力 2000/3000/8000N可选 30MPa 30MPa
最高烧结温度 300℃ 300℃ 300℃
合模力 / 100t 100t
有效烧结面积 50mm*50mm 350mm*270mm 350mm*270mm
芯片最小间隙 0.4mm 0.4mm 0.4mm
氧含量 小于50ppm 小于50ppm 小于50ppm
压力精度 土0.5N 土0.5N 土0.5N
控温精度 ±1℃ ±1℃ 土1℃
压头行程 90mm/120mm 2mm 2mm
甲酸活化气氛

 

产品性能

•在线式传输:通过在线式传输,实现了从预热到烧结、到冷却全⼯艺流程⽓体氛围可控的银/铜烧结⼯艺过程;
•优异的防氧化能⼒:全程真空腔体保护,满⾜真空、氮⽓、活化甲酸三种⽓体氛围的烧结 ⼯艺,兼容银、铜烧结;
•⽣产效率⾼:单组同时烧结16个模块,并可同时对多组⼯装上的模块分别进⾏上料、预热 烧结、冷却⼯艺过程,整机效率更⾼。
•独⽴动态压头:可实现⼀次多个芯⽚同时烧结,并保证其压⼒的⼀致性,最⼤烧结压⼒30MPa
•控压稳定,±0.5MPa。